全自动LED-UV解胶机
UVL400是一款自动Frame上料,解胶,下料的UV解胶设备,该设备兼容8”和12”带Frame的wafer,且无需治具更换。
机台主要结构:
面光源LED UV照射灯
独立LED灯供电系统
Cassette自动上下料机构
压盖密封充氮气机构
自动盖章机构
技术优势:
LED面光源照射,照射均匀性在5%以内
具有充氮气功能,解胶效果更好
大功率照射,平均7秒左右即可达到300mJ/cm²照射能量
全进口LED灯珠,灯珠设计寿命2万小时以上,功率均衡稳定,超长寿命(LED灯保修两年)